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第368章 光刻机故障(上)

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“我们数百名职工和几十位工程师、技术员,连续排查了好几天,也没找出问题出在什么地方。后来还是在中科院半导体研究所的梁安平教授出手帮忙,才找出了电源杂波问题,重新安装了一台变压器,这才能生产出合格的芯片产品。”

说话的功夫,孟小刚已经接到手下的通知,赶了过来,“老板,您找我,咦,这些人是?”

或许是刚刚那个小组长没转述清楚,或许是孟小刚来的匆忙,听漏了,他竟然不知道视察团的事情。吴志航只好开口给他介绍道:“这位是带队过来视察的李领导,这位是咱们深圳的梁市长,后面这些,都是省城来的领导或专家。”

说罢,吴志航又转向李高官等人,说道:“这位孟小刚同样出身中科院半导体研究所,是梁教授的学生,现在任北极星晶圆厂厂长。”

“原来是李领导、梁市长和各位领导,欢迎来到北极星晶圆厂参观。”

孟小刚热情的迎上去,和李高官等人一一握手问好,表现从容不迫,颇有大将之风。孟小刚自从当了厂长,接触的人多了,情商上升的非常明显,现在他接人待物,老练圆滑,再也看不到当初那股书呆子气。

待孟小刚和视察团的人打完招呼,吴志航这才开始向他询问光刻机的情况,“刚刚听巡视的小组长说,你正带人维修光刻机,哪台光刻机坏了,情况严重吗?”

说道光刻机,孟小刚收起笑容,颇为郁闷的说道:“还是咱们自产的那批光刻机,这次坏的是三号机,和一号机的毛病一样,依旧是双工台移动部件出了故障,定位精度达不到要求,加工出来的芯片全部都是废品。”

“那找到原因了吗?如果是一台光刻机出问题,还可能是偶然事件,现在两台光刻机都出问题,还是一样的毛病,那就是咱们的产品存在缺陷了,必须重视起来。”

孟小刚沉吟一下,说道:“我和其他几名工程师,刚刚已经把负责移动和定位的伺服电机、感应器、传动部件,全部拆了出来,我们推测,问题很可能出现在这三个部件的身上。有您提供的那两台五轴数控加工机床,咱们的机械加工精度提上来了,但加工用的合金钢材质量相较岛国的产品,依旧有所欠缺。加工出来的零件当时使用没问题,但工作时间一长,磨损加剧,问题就暴露出来了。”

吴志航点了点头,认可了孟小刚的推测,“这样吧,你是晶圆厂的厂长,比我更清楚晶圆厂这里的现状,就由你带着李领导他们去参观,我去光刻机那边看看情况。如果咱们国产的合金钢真的不堪使用,只能采购一批进口货,先顶上了。”

说罢,吴志航向李高官和梁市长告罪一声,将导游的任务交给了孟小刚,他本人则脚步匆匆的往车间深处走了过去。

吴志航赶到损坏的光刻机旁边的时候,光刻机研发实验室的梁安平教授,已经带着几名研究员,赶了过来。他们带来了一套备用的伺服电机和传动零件,正在进行替换安装。见到吴志航赶来,梁安平将手上的工作交给副手,开口询问道:“听说省里来了个视察团,正在晶圆厂这边参观,你这个当大老板的,不陪着领导,怎么跑到这里来了?”

“他们有小刚陪着就可以了,他才是晶圆厂的厂长,当这个向导更合适。我已经带着视察团在咱们公司转了大半天,说话说的嗓子都快冒烟了,正好休息一下。听说小刚说,三号光刻机也出了故障,和一号机的毛病完全一样,找到问题症结了吗?”

梁安平从一名工程师手里,拿过一枚拇指大小的伺服电机,给吴志航展示了一下,说道:“刚刚我用卡尺初步测量了一下,这枚伺服电机主轴,出现了将近半毫米的偏心。它一出毛病,和后面传动部件的咬合就出现了不严密的现象,然后层层传递,最终让整个传动系统全部损坏罢工。这次损坏方式虽然和一号机的情况有所不同,但反应出的问题,依旧集中到了原材料上。咱们从国内钢铁厂搞来的特种和金钢,在韧性,耐磨损,耐高温,等方面,和岛国的产品,依旧有不少的差距。”

吴志航从梁安平手里接过伺服电机,用手指捻动了一下,齿轮带动主轴旋转了好几圈重新停下。就算不用工具测量,只凭肉眼,吴志航就看出了主轴存在不小的偏心问题,他皱了皱眉头,说道:“当初我搞来五轴加工机床的时候,不是交给你们几张合金的配方吗。按说那些材料的性能,用来加工伺服电机主轴和传动零件,应该足够使用了。这都过去快一个月了,难道炼钢厂方面,还没讲那些合金冶炼出来?”

梁安平苦笑了一下,说道:“你提供的合金配方,性能确实十分的强大,甚至都超过了岛国和欧美国家对外出售的合金材料的性能。但是生产哪几种合金材料,需要非常先进的炼钢电炉,我们几乎找遍了国内的大小炼钢厂,也没找到符合要求的电炉。最终还是首钢的材料实验室接下了任务,用他们实验室进口的小型电炉尝试着生产了一批原材料。现在咱们光刻机上使用的很多零部件的原材料,就是他们按照你提供的配方,生产出来的合金钢。当时测试的时候,感觉性能已经很逆天了,虽然没达到你在资料上标注的性能,但比起国内先前的合金钢,要强了太多。现在看来,这些依旧远远不够,材料性能这方面,还真是来不得半点的马虎。”

“那现在问题如何解决,你们现在替换上去的零件,依旧是使用那批合金钢加工的吧,那质量不是依旧不合格,换上去能顶十天还是半个月?要不,咱们先从岛国进口一批高性能合金钢应付着,等钢铁厂那边攻克了合金钢量产问题,咱们再换回国产货。”

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